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HF干式無油真空泵

概述

用途

本系列變容式無油真空泵特別適用于化工、制藥行業使用,具有極強的抽除100%的有機溶劑(如酒精、汽油、丁烷等)氣體能力,也能確保長期可靠地連續工作,并且抽除的重要氣體可以實現100%回收,重復使用。本系列產品安裝了排液裝置,可以使冷凝在泵腔內的冷凝液體逐級排除泵外,確保了泵的工作效率,延長了泵的使用壽命。

特點

清潔抽空,對環境無污染;在流程腔內,部件間無內部接觸,無油氣污染;抽除能力強、工作平穩、噪聲低;維護成本低。

配合使用

作為羅茨泵、分子泵、鈦升華泵、濺射離子泵、低溫泵的前級泵配套,可組成清潔的無油中真空和無油高真空機組。

應用環境

化工實驗室、真空蒸餾、真空分餾、真空濃縮、分子蒸餾;

光譜儀器、電子顯微鏡;

表面物理和分析儀器;

各種鍍膜設備、退火爐、加熱爐、空間研究;

電子管生產、熱管生產、圖像轉換管、電子顯像管;

光學器件的過程工藝、半導體器件過程工藝等、等離子刻蝕、化學氣相沉積、分子束外延、離子注入;

真空干燥、真空凍干、真空燒結、液晶生產、真空冶煉;太陽能電力;國防科研。

主要性能參數

參數/型號 HF-4 HF-8 HF-15 HF-30 HF-70 HF-150 HF-300
極限真空(Pa) ≤3 ≤3 ≤3 ≤3 ≤3 ≤3 ≤3
抽氣速率(L/S) 4 8 15 30 70 150 300
滿載功率(kw) 0.75 1.1 2.2 4 7.5 150 30
輸入電壓(V) 380 380 380 380 380 380 380
冷卻水流量(L/H) 200 200 200 300 300 350 350
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