1401型滑閥真空泵(已淘汰)
MH型滑閥真空泵(基本淘汰)
H型滑閥真空泵(單缸)
2H型滑閥真空泵(雙缸)

直聯旋片真空泵
2X型旋片真空泵
XD型單級旋片真空泵

ZJH型羅茨真空泵(專利產品)
ZJ型羅茨真空泵(老型)
ZJHQ型直排大氣羅茨真空泵

HF型爪式真空泵
LG型螺桿真空泵

2BA、2BV型直聯水環真空泵
SK、2SK、2SK-P型水環式真空泵
2BE型大型水環真空泵
RPP型水噴射真空泵

WLW型立式無油真空泵
W、WY型往復式真空泵

JZJHS型羅茨水環真空機組
JZJHX型羅茨旋片真空機組
JZJHBA型羅茨水環真空機組
JZJHP型羅茨水噴射真空機組
JZJHWLW型羅茨立式無油真空機組
JZJHH/2H型羅茨滑閥真空機組
HF型干式無油分子泵機組
JK型高真空羅茨-油擴散泵機組

3L-WD型直聯三葉羅茨風機
3L-WD型皮帶三葉羅茨風機

VD/VOD真空爐鋼水精煉真空成套設備
ZHH真空吸引站

羅茨真空泵的工作原理

羅茨泵的結構如圖所示。在泵腔內,有二個"8"字形的轉子相互垂直地安裝在一對平行軸上,由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉運動。在轉子之間,轉子與泵殼內壁之間,保持有一定的間隙,可以實現高轉速運行。由于羅茨泵是一種無內壓縮的真空泵,通常壓縮比很低,故高、中真空泵需要前級泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結構和制造精度外,還取決于前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度,可將羅茨泵串聯使用。

羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉子的不斷旋轉,被抽氣體從吸氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間v0內,再經排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態,所以,在泵腔內氣體沒有壓縮和膨脹。但當轉子頂部轉過排氣口邊緣,v0空間與排氣側相通時,由于排氣側氣體壓強較高,則有一部分氣體返沖到空間v0中去,使氣體壓強突然增高。當轉子繼續轉動時,氣體排出泵外。

右(下)圖為羅茨泵轉子由0°轉到180°的抽氣過程。在0°位置時(圖a),左轉子從泵入口封入v0體積的氣體。當轉到45°位置時(圖b),該腔與排氣口相通。由于排氣側壓強較高,引起一部分氣體返沖過來。當轉到90°位置時(圖c),左轉子封入的氣體,連同返沖的氣體一起排向泵外。這時,右轉子也從泵入口封入v0體積的氣體。當轉子繼續轉到135°時(圖d),右轉子封入的氣體與排氣口相通,重復上述過程。180°(圖e)位置和0°位置(圖a)是一樣的。轉子主軸旋轉一周共排出四個v0體積的氣體。

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